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采用全息凹面光栅作为分光元件的膜厚测量仪，具有结构简单工作稳定可靠的特点。本文介绍了它的原理与特点，并对该仪器进行了实验。该仪器的测量精度对于较薄膜厚为±２ｎｍ，一般膜层为被测膜层厚度的±２％－±５％。
用全息凹面光栅作为分光元件的膜厚测量仪
【摘 要】
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采用全息凹面光栅作为分光元件的膜厚测量仪，具有结构简单工作稳定可靠的特点。本文介绍了它的原理与特点，并对该仪器进行了实验。该仪器的测量精度对于较薄膜厚为±２ｎｍ，一般膜
【机 构】
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清华大学,清华大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1994年2期
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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技