PZT厚膜压电悬臂梁结构的有限元分析

来源 :中国微米纳米技术第七届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：watertnt

【摘要】

：

本文设计了一种硅微悬臂梁结构,在低频环境中以压电厚膜进行信号转换、谐振.使用有限元分析软件ANSYS对结构建模,并进行模态和谐响应分析.模拟分析的结果表明:通过制备添加金属质量块及选择合理的尺寸范围,结构固有频率可在100～1500Hz之间;该结构在共振条件下将运动信号转换为电压信号输出时,电压可达0.4V以上,足以开启双锗二极管进行电路整流.

【作者】

：

方华斌徐峥谊刘景全陈迪蔡炳初

【机构】

：

上海交通大学微细加工国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030 Honey

【出处】

：

中国微米纳米技术第七届学术年会

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

压电悬臂梁低频谐振有限元分析电压输出 PZT厚膜

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