【摘 要】
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报道了发射极自对准的InP基异质结双极型晶体管．在集电极电流Ic=34．2mA的条件下，发射极面积为0.8μm×12μm的InPHBT截止频率fT为162GHz，最大振荡频率fmax为52GHz，最大直流增
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【基金项目】
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国家重点基础研究发展规划（批准号：2002CB311903）及中国科学院创新工程（批准号：KGCX2-107）资助项目,Acknowledgement The authors would like to thank all the members of the Microwave Devices and Integrated Circuits Department of IMECAS.
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报道了发射极自对准的InP基异质结双极型晶体管．在集电极电流Ic=34．2mA的条件下，发射极面积为0.8μm×12μm的InPHBT截止频率fT为162GHz，最大振荡频率fmax为52GHz，最大直流增益为120，偏移电压为0.10V，击穿电压BVCEO达到3．8V（Ic=0．1μA）．这种器件非常适合在高速低功耗方面的应用，例如OEIC接收机以及模拟数字转换器．
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