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铁酸镧（LaFeO3，LFO）薄膜是一类重要的介电薄膜材料，是目前国内外研究的前沿和热点之一。综述了用溶胶一凝胶法制备LaFeO3薄膜的基本原理、工艺过程及其特点。
溶胶-凝胶法制备铁酸镧LaFeO3薄膜
【摘 要】
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铁酸镧（LaFeO3，LFO）薄膜是一类重要的介电薄膜材料，是目前国内外研究的前沿和热点之一。综述了用溶胶一凝胶法制备LaFeO3薄膜的基本原理、工艺过程及其特点。
【机 构】
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华南农业大学公共基础课实验教学中心
【出 处】
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广西轻工业
【发表日期】
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2009年10期
【基金项目】
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广东省华南农业大学校长科学基金资助项目
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