【摘 要】
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用正交设计法L16设计了五因素四水平共16种工艺,用热阴极离子镀在GCr15块规上制备CrNx薄膜。用X射线衍射议(XRD)分别对16个试样进行了物相分析及结构分析,用显微硬度计(25g)
【机 构】
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西华大学材料学院,西华大学材料学院,四川大学材料学院,西华大学材料学院 四川成都610039,四川成都610039,四川成都610064,四川成都610039
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用正交设计法L16设计了五因素四水平共16种工艺,用热阴极离子镀在GCr15块规上制备CrNx薄膜。用X射线衍射议(XRD)分别对16个试样进行了物相分析及结构分析,用显微硬度计(25g)测试了显微硬度,并对检测结果进行了分析讨论。结果表明:工艺参数的变化对于CrNx薄膜的制备会产生重要影响。
The orthogonal design method L16 was used to design a total of 16 processes of five factors and four levels. CrNx films were prepared by hot cathode ion plating on GCr15 block. The phase analysis and structure analysis of 16 samples were carried out by X-ray diffraction (XRD). The microhardness was tested by microhardness tester (25g), and the test results were analyzed and discussed. The results show that the change of process parameters has an important influence on the preparation of CrNx films.
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