【摘 要】
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微结构光学是一门属于多门前沿学科交叉的新兴学科,正处在产生重要研究成果的前沿,极有可能引发新兴产业.随着微电子工艺技术的进展,人们可以加工出越来越细的线宽,0.35微米
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微结构光学是一门属于多门前沿学科交叉的新兴学科,正处在产生重要研究成果的前沿,极有可能引发新兴产业.随着微电子工艺技术的进展,人们可以加工出越来越细的线宽,0.35微米线宽目前已在商品化生产线中采用,正在积极准备把0.18微米线宽工艺技术推向市场,80纳米线宽已在某些实验室中成功做出.按照摩尔定律,更细线宽的加工能力继续取得进展,这说明人类正具有前所未有的微小尺度的加工能力,由此极可能引发新一轮光学产业技术革命.值得说明的是微电子工艺技术并不完全是微光学技术,如何设计、优化,并利用微电子工艺技术制造微光学
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