【摘 要】
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在制造红外光电二极管过程中,在每一工艺过程后,用俄歇能谱仪研究了锑化铟的表面。介绍一些从化学刻蚀、表面钝化和扩散处理得来的表面沾污和化学计量的数据。
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在制造红外光电二极管过程中,在每一工艺过程后,用俄歇能谱仪研究了锑化铟的表面。介绍一些从化学刻蚀、表面钝化和扩散处理得来的表面沾污和化学计量的数据。
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