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以乙烯基三乙氧基硅烷为原料，通过控制水解聚合条件制得聚（乙烯基）硅倍半氧烷。IR光谱表征产物中形成了Si-O-Si的骨架结构，^29Si NMR表征说明产物是以笼形结构为主，用GPC测得的摩尔质量接近五面体（T6）和六面体（T8）结构的笼形聚（乙烯基）硅倍半氧烷；通过对产物平均几何参数的计算，确定产物为笼形T6结构的聚（乙烯基）硅倍半氧烷。