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本文采用微波烧结工艺,将硅粉在氩气气氛下与氮气直接反应,合成了氮化硅粉,利用XRD手段对物相进行分析,并对硅粉氮化的过程进行了热力学及动力学上的计算,通过计算得出了硅粉直接氮化反应的活化能Ea及指前因子A,得出了硅粉微波烧结直接氮化反应为动力学控制反应的结论,解释了硅粉氮化反应只有在较高温度才能发生的原因。