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文中阐述了超精密加工技术的发展现状及实现方法.通过介绍微机器人技术在超精密加工中的具体应用,论证了微机器人技术在超精密加工及精密工程中的应用价值.
微机器人技术在超精密加工中的应用研究
【摘 要】
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文中阐述了超精密加工技术的发展现状及实现方法.通过介绍微机器人技术在超精密加工中的具体应用,论证了微机器人技术在超精密加工及精密工程中的应用价值.
【机 构】
：
中国科学院沈阳自动化研究所
【出 处】
：
机械工程师
【发表日期】
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2003年1期
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