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采用溶胶-凝胶法分别在普通玻璃和石英玻璃基底上制备出性能优良的ZnO薄膜，并通过XRD、AFM和UV-Vis吸收光谱对薄膜进行表征，进一步研究了不同波长紫外光照射、不同基底及不同退火温度对薄膜光催化性能的影响。实验结果表明，以石英为基底，退火温度为400℃的ZnO薄膜具有更好的光催化氧化能力，并且实现了催化剂的固载，便于回收再利用，催化效果显著。