新型压电微喷的研制

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zyjwxb
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
介绍了一种能够实现微量样品精确供给的压电微喷.该微喷利用压电陶瓷围成液体腔,通过厚度切变振动产生压力波,使液滴喷射.从理论推导、有限元模拟、实际测量三个方面研究了微喷的性能,三者得出的谐振基频基本吻合,从而验证了理论设计和有限元优化的正确性.该微喷工作稳定,施加一个驱动脉冲,只会产生一次喷射.当驱动电压为40 V时,最大喷射距离为3 cm,喷出液滴的体积小于1 nL.
其他文献
介绍了一种功能薄膜微细图形制备新方法-化学修饰溶胶-凝胶法.该方法的特点是在溶胶-凝胶制膜过程中引入化学修饰法,从而赋予薄膜以感光特性.利用该特性制备了微细图形,简化
极紫外光刻(EUVL)技术是实现45 nm特征尺寸的候选技术之一,产业化设备要求300 mm硅片的产率大于每小时80片(80 wafer/h),此时入射到掩模版上的极紫外光功率密度很高,掩模版上