微细图形相关论文
SiO薄膜由于具有良好的透光性和低的光损耗性能,在光的分束合束、波分复用等集成光学及高精度光栅等元器件中具有重要应用.这些薄......
针对可能影响制备二氧化钛薄膜物性的因素,通过以钛酸丁酯、乙酰丙酮、苯甲酰丙酮、无水乙醇作为原材料通过提拉法、旋涂法制备出......
YBa2Cu3O7-8(YBCO)超导薄膜具有优异的电学性能,用其制作的电子器件在液氮温区具有超高灵敏度、低功耗、强抗干扰能力等优点。随着......
该文以甲醇为溶剂,以醋酸铜,醋酸钇,醋酸钡为出发原料,以苯酰丙酮为化学修饰剂,采用溶胶-凝胶与化学修饰法相结合的方法制备了感光......
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在溶胶-凝胶制膜过程中引入化学修饰法,从而在溶胶中形成一种感光性螯合物,并使其保留在随后制备的凝胶薄膜之中,用特定波长的紫外......
YBCO高温超导薄膜及其相关器件的应用领域广阔,潜在经济价值高,尤其是其拥有较高的临界电流密度(J_c>1 MA/cm~2,0T),被认为是强电......
学位
BST薄膜由于具有良好的铁电、介电、热释电效应及无铅绿色环保性，在动态随机存储器DRAM、非挥发性存储器FeRAM、非制冷红外传感器UF......
氧化铪(HfO2)薄膜具有优异的抗激光性能，随着近年来高功率激光器的发展被越来越多的研究者所关注。本实验采用感光溶胶-凝胶法结合......
铁电薄膜非致冷红外焦平面阵列(UFPA)是新一代红外热成像系统的关键部件,代表了凝视阵列摄像发展的新途径.该文提出以改进的Sol-Ge......
随着现代微电子技术向高集成度超微细化方向发展 ,为提高制作微细图形的光刻设备所能达到的光刻分辨力水平 ,在设备不更新的情况下......
概述了平滑玻璃基板上的微细图形形成技术以及纳米多孔ZnO膜,弱酸性铅催化液和弱酸性乙酸铜镀铜液的开发,可以在玻璃/ZnO中间层化......
采用溶胶-凝胶与化学修饰相结合的方法制备了ZrO2 SiO2系薄膜.研究了这种凝胶薄膜的FT-IR光谱特性及随紫外线照射时的变化.发现在1......
日本电气公司与大阪大学工程部应用物理系的志水隆—教授共同研究并证实了采用电子束全息照相形成微细图形的可能性获得成功。这便......
该装置利用激光直接投影加工方法达到蚀刻处理的极限，实现了线与空间小于20μm的下一代基板的标准。利用以往一半的基板，采用附加工......
介绍了一种功能薄膜微细图形制备新方法-化学修饰溶胶-凝胶法.该方法的特点是在溶胶-凝胶制膜过程中引入化学修饰法,从而赋予薄膜......
以硅为代表的半导体的微细加工技术已达到了亚微米甚至纳米级的水平,而沿用半导体微细加工技术的功能薄膜的微细加工则远达不到这......
采用溶胶一凝胶技术与化学修饰相结合的方法，制备了具有紫外感光特性的SiO2／Al2O3溶胶及其凝胶薄膜，并通过在溶胶中加入聚乙二醇使其......
采用化学修饰溶胶凝胶工艺,以PVP为薄膜开裂抑制剂,以苯酰丙酮为化学修饰剂,利用其与金属盐形成的配位螯合物结构,合成了具有紫外......
微细图形几何尺寸的测量是VLSI 生产中的一个重要工序。DXY-1型线宽轮廓测量仪采用显微镜—电视摄象—图象采集—微机处理方案。本......
以醋酸镍为原料，乙二醇甲醚为溶剂，苯酰丙酮为化学修饰剂，采用溶胶-凝胶法与化学修饰法相结合的方法制备感光性氧化镍基溶胶及凝胶膜，......
采用改进的化学修饰的溶胶-凝胶工艺,以聚乙烯吡咯烷酮（PVP）为薄膜开裂抑制剂,以乙酰丙酮为化学修饰剂,利用乙酰丙酮可以与金属盐形......
以甲醇为溶剂,以醋酸铜、醋酸钇和醋酸钡为起始原料,二乙烯三胺、三氟乙酸、丙烯酸为添加剂,采用溶胶-凝胶法制备了具有紫外感光性......
概述了平滑玻璃基板上的微细图形形成技术以及纳米多孔ZnO膜,弱酸性铅催化液和弱酸性乙酸铜镀铜液的开发,可以在玻璃/ZnO中间层化......
应用基于原子力显微镜与铁电分析仪联用的方法，在无顶电极的情况下，直接测试了PZT微阵列格点的电滞回线。结果表明，应用铁电分析仪与......
采用溶胶-凝胶工艺，以Ni（Ac）2、La（NO3）3为前驱原料，以乙醇和乙二醇甲醚为溶剂，以丙烯酸为稳定剂，乙酰丙酮（AcAc）为化学修饰剂制备了感光性LN......
以苯酰丙酮[BzAc]作为化学修饰剂，采用溶胶一凝胶法合成了含铜的螯合物，研究了含铜螯合物的紫外、红外光谱特性。发现在330nm处有与......
高温超导薄膜具有良好的物理性能，其微细图形在微电子器件中有非常广泛的应用。概述了高温超导薄膜微细图形的制备工艺及研究进展，重......
高温超导异质结可用于超导电子元器件的制备,在超导电子学领域具有广阔的应用前景。采用溶胶-凝胶法将 Bi2Sr2CaCu2O8+δ(Bi-2212)......
提出一种利用感光溶胶-凝胶法结合紫外光刻技术制备Al2O3微细图形的方法。以Al（O-SecBu）3为前驱物,β-二酮类配体H（C10H12O2）为化学修......
以甲醇为溶剂,二乙烯三胺为络合剂,醋酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶与化学修饰相结合的方法制备了含钇螯合物凝胶薄膜.研究了这种凝......
以甲醇为溶剂,硝酸氧锆、硝酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶方法,通过引入化学修饰剂乙酰丙酮(AcAcH),使乙酰丙酮和锆离子形成螯合物,......
钇钡铜氧(YBCO)超导薄膜因具有优良的性能而得到广泛的关注和应用,在高温超导滤波器、红外探测器、THz天线等领域有非常重要的应用......
采用化学修饰的溶胶凝胶工艺，制备了具有紫外光感应特性的钛酸锶钡（Ba0.8Sr0.2TiO3）溶胶及其凝胶薄膜．提出了钛酸锶钡薄膜微细加工的新......
