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阐述了分段表面放电光抽运XeF(C-A)激光器的设计和实验技术。分段表面放电辐射源在140 nm~170 nm辐射区域亮度温度Tb≈15×103 K,用该辐射源作抽运源离解XeF2获得了XeF(C-A)蓝绿(470 nm~495 nm)激光输出,激光脉宽为340 ns、光谱宽度为15 nm。