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随着声表面波器件的发展，器件的制作也越来越复杂，随之就更好的性能和模型的预测也提出了越来越多的要求。用ANSYS完成了声表面波器件的模拟与仿真，并与具体的试验结果进行了比较，结果比较吻合。
基于ANSYS的声表面波器件仿真研究
【摘 要】
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随着声表面波器件的发展，器件的制作也越来越复杂，随之就更好的性能和模型的预测也提出了越来越多的要求。用ANSYS完成了声表面波器件的模拟与仿真，并与具体的试验结果进行了比
【机 构】
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中北大学信息与通信工程学院
【出 处】
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机械工程与自动化
【发表日期】
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2008年5期
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