晶圆预对准系统建模及仿真

来源 :机械设计与制造 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangchun2000
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为了对晶圆预对准过程进行建模及仿真,建立了晶圆边缘数据采集模型,其重点在于缺口模型的建立。首先采用分段函数法对晶圆边缘曲线进行建模,再根据几何关系分段建立晶圆边缘数据采集模型。最后,根据所采集到的晶圆边缘的数据分别采用不同算法计算出晶圆的偏心及缺口的方向。该模型不但建立了包括缺口在内的完整晶圆边缘模型,而且还考虑了转动中心偏置及CCD分辨率等的影响,利用此模型可以系统的对晶圆预对准过程进行深入的研究。
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