论文部分内容阅读
提出并实现了以分段分类思想为基础的掩模版优化算法，它是一种基于模型的光学邻近效应方法．该算法具有矫正精度高、灵活性强和矫正效率较高的特点，适合于版图中关键图形的矫正．实验表明，该优化算法可以实现矫正功能并且具有很好的矫正效果．
成品率驱动下基于模型的掩模版优化算法
【摘 要】
：
提出并实现了以分段分类思想为基础的掩模版优化算法，它是一种基于模型的光学邻近效应方法．该算法具有矫正精度高、灵活性强和矫正效率较高的特点，适合于版图中关键图形的矫正．实
【机 构】
：
清华大学计算机科学与技术系
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
2004年3期
其他文献
为了提升阻力型垂直轴风力机的风能转换效率,在已提出的仿鱼脊翼型风力机结构基础上,利用非定常流体力学瞬态数值模拟分析方法,基于滑移网格法和剪切应力输运（SST）k-ω湍流模型
为了有效提高跑道的运行效率，引入了近距平行跑道配对进近运行模式，对前后两航空器从最后进近定位点到跑道入口过程进行了图示，呈现了其速度和间距的变化。基于假设条件，结合其进
21世纪是一个经济全球化、网络信息化以及人工智能化的时代。信息技术与小学学科教学深度融合是教育事业发展过程中的必然趋势。小学学科教学是教育事业中最基础性的教育阶段
班主任工作是一项爱的工作，以爱为出发点，对学生倾注无限的爱，守候每一位孩子的成长。以德为先，教师学高身正、以身作则，以自身的高尚品格引领学生成长。以遵循孩子的成长规律为原
利用二维器件模拟软件ISE对50nm沟道长度下SOI-DTMOS器件性能进行了研究，并与常规结构的SOI器件作了比较．结果表明，在50nm沟长下，SOI-DTMOS器件性能远远优于常规SOI器件．SOI-DTMOS
近年来，MOOC如同一场风暴席卷全球，引起教育界的广泛关注。但遗憾的是，绝大多数学者和相关研究对于这一现象保持非常乐观的心态，而很少从问题的视角来进行研究。为此，本文主要从批