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在远海水域海底地形测量中，为了减小波浪引起的船体姿态变化而导致多波束测深系统在垂直深度和平面位置产生的误差，通常以低成本的INS/GPS组合惯导设备辅助多波束测深系统以提高测量精度。考虑以多波束测深系统中惯导误差源为研究对象，根据测深坐标系的关系讨论了多波束测深系统误差因素，结合惯性导航系统特点考虑了影响测量精度的主要误差源，重点分析加速度计零偏及安装误差与测深误差的关系，建立了其误差源与多波束测深精度之间的模型，仿真比较了惯性导航系统主要误差源对于水深测量精度的影响，其结果表明2×10-4g