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水平式隧穿磁强计是一种新型隧穿磁强计，其特点是反映磁场变化的洛伦兹力与敏感元件在同一水平面内。该文介绍了这种隧穿磁强计的工作原理，分析了与垂直式隧穿磁强计的区别。给出了表头的加工版图、加工工艺及相应的工艺简图，分析了工艺难点。介绍了按此工艺研制的两种表头：一为直梁式，其加工相对容易、可靠性高；另一种为折叠梁式，其弹性好，位移灵敏度高。SEM照片显示：结构平整、无毛刺。两种结构的表头均进行了封装。