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利用分子动力学在原子尺度模拟了单晶Cu（111）面纳构件的纳米加工过程和加工后纳构件的拉伸过程，分析了纳刻划过程的缺陷行为及加工缺陷对纳构件力学特性的影响．结果表明：在纳刻划过程中，在针尖的前方和下方形成加工变形区；当刻划深度较浅时，位错仅在表面与亚表面繁殖；随着刻划深度的增加，加工后残留的缺陷数量增加，纳构件的有序度及首次屈服应力下降：加工后的纳构件内部，尤其在针尖退出处有较高的残余应力．对加工后的纳构件施加拉伸载荷，由于存在残留加工缺陷和较高残余应力，其应力应变曲线在弹性卜升阶段有局部下降；在塑性阶段