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采用微波等离子体CVD（MWCVD）法小批量地生产了金刚石涂层刀片，在金刚石薄膜沉积的过程中，研究了碳源浓度对沉积金刚石膜的均匀性的影响。用扫描电子显微镜（SEM）和激光拉曼光谱（Raman）对薄膜的表面形貌和质量进行了表征。结果表明较低的低甲烷浓度适合金刚石涂层刀片的批量生产。
甲烷浓度对批量生产金刚石涂层刀片的影响
【摘 要】
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采用微波等离子体CVD（MWCVD）法小批量地生产了金刚石涂层刀片，在金刚石薄膜沉积的过程中，研究了碳源浓度对沉积金刚石膜的均匀性的影响。用扫描电子显微镜（SEM）和激光拉曼光谱（Raman
【机 构】
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武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
【出 处】
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硬质合金
【发表日期】
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2008年3期
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