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提出了一种基于流体二维振动的超光滑表面加工新方法。该方法是对流体在水平和垂直方向同时施加超声振动，从而实现了流体的二维高频振动，为工件加工提供抛光作用力。研制了一套实验装置，该装置由工作槽、行星机构、控制装置等组成。利用该装置对光学玻璃进行了一系列实验，分析了抛光时间、抛光液的质量分数、磨料的粒度等对加工质量的影响。