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讨论了高性能微惯性器件单片集成技术。首先对单片集成MEMS技术的优势及面临的困难进行了讨论,并对目前主流的单片集成MEMS技术特点、工艺流程进行了介绍,最后,给出高性能微惯性器件单片集成技术的未来发展趋势。
高性能微惯性器件单片集成技术
【摘 要】
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讨论了高性能微惯性器件单片集成技术。首先对单片集成MEMS技术的优势及面临的困难进行了讨论,并对目前主流的单片集成MEMS技术特点、工艺流程进行了介绍,最后,给出高性能微
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所,中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室
【出 处】
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太赫兹科学与电子信息学报
【发表日期】
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2014年4期
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