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为实现半导体器件检测过程自动化,减少人为误操作,提高测量的效率,以LabVIEW 9.0为检测系统的开发平台,设计了半导体器件参数自动测试系统。首先介绍了该系统开发需要的软、硬件资源,详细介绍了软件设计流程及功能实现部分,该系统实现了对半导体器件的检测和对仪器的控制功能,并提供了数据存储、图形显示、错误报警等功能。实验结果表明,系统具有良好的人机对话界面,操作方便,且程序拓展性好,为其他同类型器件测量程序的开发缩短了周期。