【摘 要】
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通过分析微机械Golay腔型红外探测器设计中影响性能的关键因素：温致压变系数、红外吸收层、阻尼噪声，提出了一种采用硅和玻璃阳极键合技术实现的新型Golay腔型红外探测器。计算
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院研究生院
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通过分析微机械Golay腔型红外探测器设计中影响性能的关键因素：温致压变系数、红外吸收层、阻尼噪声，提出了一种采用硅和玻璃阳极键合技术实现的新型Golay腔型红外探测器。计算其灵敏度为2700pF／W、噪声等效功率为8．4×10^-8 W／Hz^1/2和响应时间为0．5ms。利用光学测量变形，可以实现探测器无电化设计，使得测量不受强电磁场和湿度的影响。
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