论文部分内容阅读
微惯性系统以及其他高精密场合往往需要高精度三轴加速度计来检测三个垂直方向加速度矢量。针对类似需求，介绍了一种四边八梁结构式三轴压阻式硅微加速度计，利用硅衬底上单一质量块和惠斯通半桥结构可同时实现三个轴向上的加速度高精度测量。另外设计了微加速度计在高过载环境下的硅一玻璃防护结构和体硅加工工艺，并通过ANSYS仿真和试验验证了加速度计结构的合理性，还对微加速度计相关性能进行了测试，测试结果表明，该微加速度计具有较高的测量精度和较好的线性度，满足设计要求。