【摘 要】
：
硅的刻蚀形貌控制是MEMS器件加工中的关键技术之一,形貌控制是硅表面刻蚀和钝化反应取得平衡的结果,任何影响刻蚀和钝化反应的因素都会影响到刻蚀形貌。采用中科院微电子研发
【机 构】
：
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
论文部分内容阅读
硅的刻蚀形貌控制是MEMS器件加工中的关键技术之一,形貌控制是硅表面刻蚀和钝化反应取得平衡的结果,任何影响刻蚀和钝化反应的因素都会影响到刻蚀形貌。采用中科院微电子研发中心研制的基于化学平衡原理的ICP-98A等离子刻蚀机,对ICP刻蚀当中影响形貌的关键工艺参数进行了研究和分析,研究了源功率RF1、射频功率RF2及气体（SF6和C4F8）比例对刻蚀形貌的影响,分析了bow ing现象产生机制,并给出了降低这种现象的工艺方法。该研究对提高硅的ICP刻蚀形貌控制具有重要的指导意义。
其他文献
彩叶树衬在园林上应用广泛、作用明显。在选择和应用彩叶树种时，应考虑彩叶树种的类型、生物学特征、树种配置、园林建设标准及其与周边环境的关系，同时，要注意受环境影响彩叶性
针对铅酸蓄电池在使用过程中出现的硫酸盐化问题,开发了一套蓄电池硫化修复系统。该系统通过微控制器单元对采集的电池工况参数进行分析与处理,来实时调节控制脉冲频率和幅值
网吧作为伴随互联网迅速发展而出现的新事物,为大众提供一个查询与浏览信息,参与网络游戏、在线聊天或在线娱乐,收发电子邮件等网络活动的综合性信息服务与休闲娱乐场域。基
凯瑟琳·曼斯菲尔德的《园会》描绘了两种不同的美丽,即外在的美丽和内在的美丽。最外在的美丽在于园会的准备、明媚的天气以及人们愉悦的心情;内在的美丽在故事的末尾尸体出
副词问题一直是汉语研究中的热点。本文有选择地对常用的两个副词＂都＂＂就＂进行语义指向的分析,或可对副词研究有所贡献。
实物期权方法是投资决策理论的一场革命。本文阐述了项目与实物期权、实物期权与不确定环境下管理的关系,对实物期权的特性和定价问题进行了探讨,指出实物期权的适用性;综述
明确了土木工程房建工程质量的考核要点,从施工前制定质控方案、施工中各环节控制、竣工阶段细节勘察三方面论述了土木工程房建工程的质量保证措施,以期从根本上削弱各项质量
目的：应用针灸治疗糖尿病多发性外周神经病性疼痛,观察其临床疗效。方法：48例糖尿病多发性神经病疼痛的患者按就诊先后顺序分为两组,两组患者一般资料经统计学分析无显著差异,
根据社会的发展与需求,对工程施工现场管理的重要性进行了分析,结合施工企业的最终目标,研究了施工现场管理与企业利润的关系,以正确处理好工程造价与安全、工期、质量的关系