【摘 要】
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研制成由硅温敏二极管和聚酸亚胺湿敏电容集成的温湿度传感器。介绍了它的工作原理、结构设计、制作工艺、测试结果以及为提高它的性能所作的一些研究。
Developed by the s
【机 构】
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研制成由硅温敏二极管和聚酸亚胺湿敏电容集成的温湿度传感器。介绍了它的工作原理、结构设计、制作工艺、测试结果以及为提高它的性能所作的一些研究。
Developed by the silicon temperature-sensitive diodes and polyimid moisture sensitive capacitance integrated temperature and humidity sensors. Introduced its working principle, structure design, manufacturing process, test results and some research to improve its performance.
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