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介绍了一种与传统ＭＴＦ法完全不同的测量电流密度因子ｎ的新型动态电流斜坡测试法。测试了４种不同样品。结果表明，ｎ值与材料有关，并符合ＢＬＡＣＫ方程。
脉冲应力下电流密度指数因子的研究与分析
【摘 要】
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介绍了一种与传统ＭＴＦ法完全不同的测量电流密度因子ｎ的新型动态电流斜坡测试法。测试了４种不同样品。结果表明，ｎ值与材料有关，并符合ＢＬＡＣＫ方程。
【机 构】
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北京工业大学电子工程系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1998年6期
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