【摘 要】
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利用多弧离子镀技术在316L不锈钢和单晶硅上沉积CrCN薄膜,通过X射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）、X射线光电子能谱仪（XPS）、纳米压痕仪、273A电化学工作站和多功能摩擦磨损试验机等
【机 构】
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江西理工大学材料科学与工程学院,中国科学院宁波材料技术与工程研究所,中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室
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利用多弧离子镀技术在316L不锈钢和单晶硅上沉积CrCN薄膜,通过X射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）、X射线光电子能谱仪（XPS）、纳米压痕仪、273A电化学工作站和多功能摩擦磨损试验机等对316L不锈钢及CrCN薄膜的微观结构、力学性能、耐腐蚀性能和摩擦学性能进行表征.结果表明：在316L不锈钢上沉积CrCN薄膜后,硬度从4 GPa提高到22 GPa,H/E和H3/E2分别从0.022和0.002 GPa提高到0.071和0.11 GPa;阳极腐蚀电位从-0.21 V上升到-0.19 V;在大气
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