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本文通过水热法制备ZnO纳米阵列,基于不同生长时间的ZnO阵列构建了Pt-ZnO-Pt型紫外探测器,对器件性能进行了研究.研究表明,器件对紫外线有明显的光响应,响应度为0.13~0.77A/W;响应时间为20~150s.生长24小时制备的ZnO纳米阵列组建的器件性能最优,ZnO纳米阵列缺陷峰低,结晶性能好,阵列缺陷少;生长16h的缺陷峰最高,结晶性较差.