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利用Ｌａｎｇｍｕｉｒ双探针测试方法对高频放电等离子体的参数进行了详尽测试，得出了等离子体参数随放电空间位置、气体种类等条件变化的规律，并对测试结果做了理论分析。
电感耦合高频放电等离子体特性测试
【摘 要】
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利用Ｌａｎｇｍｕｉｒ双探针测试方法对高频放电等离子体的参数进行了详尽测试，得出了等离子体参数随放电空间位置、气体种类等条件变化的规律，并对测试结果做了理论分析。
【机 构】
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安康师范专科学校
【出 处】
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西北大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1998年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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