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概述了集成电路 (IC)生产的基本工艺流程及其关键设备的国际国内水平 ,展望了IC制造工艺设备的发展趋势 ;同时介绍了微电子机械系统 (MEMS)的用途、发展方向及先进的IC制造技术在MEMS生产中应用前景
先进制造技术之——IC与MEMS制造技术及其发展趋势
【摘 要】
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概述了集成电路 (IC)生产的基本工艺流程及其关键设备的国际国内水平 ,展望了IC制造工艺设备的发展趋势 ;同时介绍了微电子机械系统 (MEMS)的用途、发展方向及先进的IC制造技
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2002年04期
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