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给出了表面组装工艺中加热平台的校准方法,并以JRT-1612型号的加热平台为例,介绍了加热平台的校准过程及其不确定度的评定,总结了加热平台校准过程中的注意事项,为该类仪器的校准提供借鉴。
加热平台的校准与不确定度评定
【摘 要】
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给出了表面组装工艺中加热平台的校准方法,并以JRT-1612型号的加热平台为例,介绍了加热平台的校准过程及其不确定度的评定,总结了加热平台校准过程中的注意事项,为该类仪器的
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
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计测技术
【发表日期】
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2015年S1期
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