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基于新研发的一套微细组合电加工样机μEM-200CDS2，介绍了研发过程中探索出的最小脉宽可以达纳秒级的双功能微能脉冲电源以及样机中的若干关键技术，包括放电状态的双参数检测技术、工具电极在位多功能磨削技术、工作液稳定供给控制技术等。其中，双功能微能脉冲电源具备主动消电离环节，可以减少脉间的残余电荷放电，有利于提高加工表面质量；组合电加工样机床身设计有利于提高系统的加工精度和效率。最后，结合小孔的加工试验研究了典型的组合电加工工艺过程，结果表明：该过程中，可以并行完成工具电极在位修整与零件加工，有利于提高微