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期刊论文
等离子低温化学热处理气体成分分析
等离子低温化学热处理气体成分分析
来源 :国外金属热处理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:firefly0808
【摘 要】
:
用高性能的四极质谱气体分析仪,研究了离子渗氮和氮碳共渗过程中炉气各组分的分压。结果表明,氢和氮在炉膛内的分布相当均匀,但当总压力改变时,成分发生显著变化。尤其值得注意的
【作 者】
:
佟晓辉
【机 构】
:
机械工业部北京机电研究所
【出 处】
:
国外金属热处理
【发表日期】
:
1999年1期
【关键词】
:
离子渗氮
气体成分分析
化学热处理
等离子体
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用高性能的四极质谱气体分析仪,研究了离子渗氮和氮碳共渗过程中炉气各组分的分压。结果表明,氢和氮在炉膛内的分布相当均匀,但当总压力改变时,成分发生显著变化。尤其值得注意的是氧对气体成分的影响,对于不锈钢离子渗氮或离子氮碳共渗等特殊处理,水的合成明显影响表面渗层的质量。
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