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受生物免疫系统基本原理的启发，提出了半导体器件可靠性免疫系统的概念。在介绍半导体器件的过激噪声和其内部不同缺陷之问的关系的基础上，阐述了利用噪声评估器件可靠性的原理及优点。借鉴生物免疫系统，较为详细的介绍了人工免疫系统的相关机理，并给出了半导体器件可靠性免疫系统内抗原（过激噪声）、淋巴细胞（判据）的表现形式，淋巴细胞对不可靠器件的识别过程等。实验结果表明：该方法具有快速，可靠等优点，并具有很好的适应性。