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金刚石薄膜是通用的热工艺材料之一,因为它透明、硬度高、热导率高、热膨胀系数低、具有化学惰性且有半导体特性。金刚石膜用化学蒸汽沉积(CVD)工艺制作。然而对于多数用途、沉积后的膜必须加工成要求的形状和厚度。现在使用的大多数技术,如借助于与氧原子或离子的反应进行抛光,或与固态过渡金属进行高温和(或)高压反应进行抛