基于F-P腔的MEMS TOF的波长控制技术

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文章分析了基于法布里-珀罗(F-P)腔技术的微机电系统(MEMS)可调谐光滤波器(TOF)的调谐原理,推导并测试了其波长与温度及波长与电压的关系,提出了温度与电压相结合的波长混合控制技术,实现了1 530~1 560 nm范围内的波长可调的光滤波器.
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