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Feasible Development of a Carbon-Based MEMS Using a MEMS Fabrication Process
【机 构】
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FacultyofEngineering
【出 处】
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化学与化工：英文版
【发表日期】
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2014年11期
【基金项目】
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AcknowledgmentsThis work was supported by ＂Nanotechnology Platform＂ of the MEXT （Ministry of Education, Culture, Sports, Science and Technology）, Japan, at the Center for Integrated Nanotechnology Sup
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