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电感耦合高频放电等离子体的产生机理及其物理图象
电感耦合高频放电等离子体的产生机理及其物理图象
来源 :渭南师专学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:teliek
【摘 要】
:
本文通过对电感耦合高频放电管中电磁场分布的数学推导,阐明了高频放电等离子体的产生机理,并给出放电管中等离子体的物理图象和有关特征参量
【作 者】
:
杨孝龙
【机 构】
:
安康师专物理系
【出 处】
:
渭南师专学报
【发表日期】
:
1998年05期
【关键词】
:
电感耦合
高频放电
等离子体
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本文通过对电感耦合高频放电管中电磁场分布的数学推导,阐明了高频放电等离子体的产生机理,并给出放电管中等离子体的物理图象和有关特征参量
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