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光纤微机械电子系统(MEMS)传感器是MEMS微加工技术与微光学技术相结合发展的新型传感器,具有微型化、强抗电磁干扰、易集成、易阵列化、低成本、高可靠性等优点。针对低频声场测量需要,研究了光纤MEMS测声理论,建立了法布里-珀罗(F-P)干涉测声的理论模型,设计并制作了光纤MEMS低频声传感器样品。实测表明,光纤MEMS性能可满足对4~5 000 Hz频段对声波的高灵敏测量。