论文部分内容阅读
声表面波器件广泛应用于有线和无线通讯中.利用半导体加工工艺制作声表面波器件,由于所使用的工艺的特殊性,并不能完全按照硅工艺.该文讲述了用于法刻蚀工艺制作声表面波器件及其工艺特殊性.
声表面波器件制作中的干法刻蚀工艺
【摘 要】
：
声表面波器件广泛应用于有线和无线通讯中.利用半导体加工工艺制作声表面波器件,由于所使用的工艺的特殊性,并不能完全按照硅工艺.该文讲述了用于法刻蚀工艺制作声表面波器件
【机 构】
：
南京电子器件研究所
【出 处】
：
压电与声光
【发表日期】
：
2005年6期
其他文献
思政课实践教学是民办高校思想政治教育的重要环节,也是引导大学生将所学理论知识内化为自身思想认知素质水平的重要途径。而思政课实践教学实效性的实现,离不开劳动教育。二
从研究STM仪器对振动的敏感性出发,对基于隧道效应的纳米振动传感器的理论、技术及实现方法进行了初步的研究和探索,研制了具有压电陶瓷结构的传感器样机模型,并进行了振动检测试验。结果表明,基于隧道效应的测振传感器具有很高的灵敏度、良好的频率特性和与STM仪器一致的振动响应特性。
作者认为,自然语言逻辑的本体论承诺是范围最广泛、最具实用价值的关于"在者存在"的本体论承诺.回归这种本体论承诺,就是既承认存在的外在矛盾,又承认在者的内在矛盾,前者是
给出了三角波驱动信号下d31悬臂梁式驱动器的工作特性和频率特性.由于三角波包含了许多频率为基频奇数倍的谐波分量,当某一信号的谐波频率接近驱动器的共振频率时,该频率的三
对光纤光栅的调谐特性进行了简单的理论分析和具体的实验研究,利用微位移器(精度0.1 μm)对光纤光栅进行纵向拉伸实验,实验中采用了先进的高分辨率光谱仪(分辨率为0.004 nm)
误差补偿作动器相位特性等动态性能对补偿控制系统有着非常重要的影响.该文在对压电陶瓷叠堆微位移作动器电压驱动过程分析的基础后,首次给出完整的相位特性分析,分析了影响
良种是实施大豆产业化的关键在本项目中作为主要技术依托的8个高蛋白、高脂肪和高产大豆品种中,有6个品种通过了全国品种审定委员会审定;具有完全自主知识产权.其中中黄13、
液态源雾化化学沉积(LSMCD)技术自1992年问世以来就引起了各国科学家的广泛关注.目前,已成功制备出了多种铁电薄膜.该文系统的分析了采用LSMCD技术制备PLT铁电薄膜在退火温度