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通过在氟钛酸铵-氟铁酸混合溶液中加入硼酸溶液，应用液相沉积法制备了具有高光催化活性的掺铁TiO2薄膜．用ICP-AES测定了掺铁TiO2薄膜中Fe^3+的浓度，用XRD，AFM，UV-Vis和阶梯仪等对TiO2薄膜的沉积条件、结构、膜厚和性能进行了表征，并以亚甲蓝降解反应评价了掺铁TiO2薄膜的光催化活性．结果表明，在硼酸/六氟钛酸铵摩尔比为2-4时，掺铁TiO2薄膜中含有锐钛矿相TiO2．当掺Fe^3+浓度为0．05％，热处理温度为300℃时，掺铁TiO2薄膜具有最高的光催化活性，其光催化活性是未经热处