【摘 要】
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光刻机的工件台和掩模台采用长行程直线电机宏动跟随平面电机高精密微动的复合运动方式，实现系统高动态纳米级精度的跟踪定位．为减小平面电机的运动范围和加速度，必须提高直线电
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光刻机的工件台和掩模台采用长行程直线电机宏动跟随平面电机高精密微动的复合运动方式，实现系统高动态纳米级精度的跟踪定位．为减小平面电机的运动范围和加速度，必须提高直线电机精密运动平台的跟踪精度．提出一种零相位误差跟踪控制器加前馈（ZPETC—FF）和干扰观测器（DOB）相结合的复合控制方法，以提高直线电机宏动精密运动平台的运动精度．ZPETC—FF作为前馈跟踪控制器，有效提高了系统带宽和跟踪性能，减小了系统的动态跟踪误差；DOB作为鲁棒反馈控制器，补偿了外部扰动、未建模动态和系统参数摄动等，有效提高了系统的
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