多层结构钛酸锶铅薄膜及介电调谐与温度稳定性

来源 :上海大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:sylviawan
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在研究组分、溶胶浓度对钛酸锶铅(10ST)薄膜结构、介电、调谐性能等影响的基础上,设计一种以低损耗-高调谐-低损耗组分交替沉积的方法,研制了三明治多层结构的PST薄膜(PST20-40-20).研究结果表明,这种三明治多层结构的薄膜表面致密,晶粒均匀,同时具有调谐率高、损耗低等特点,综合性能比单组分要好,其调谐率、优值分别为52和45.在20~100℃范围内调谐率变化幅度小于8%,提高了温度稳定性.
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