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随着直线电机理论和产业的逐渐成熟,其在半导体设备中的应用也越来越广泛;两种典型结构直线电机,即U型电机、平板电机,具有结构简单、高响应特性和高精度等特点,从设计选型、抗干扰和精度控制等几方面举例分析。
直线电机在半导体设备中的典型应用分析
【摘 要】
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随着直线电机理论和产业的逐渐成熟,其在半导体设备中的应用也越来越广泛;两种典型结构直线电机,即U型电机、平板电机,具有结构简单、高响应特性和高精度等特点,从设计选型、
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2019年2期
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