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Characterization and Application of Diamond-like Carbon Films
Characterization and Application of Diamond-like Carbon Films
来源 :Rare Metals | 被引量 : 0次 | 上传用户:limida
【摘 要】
:
1IntroductionPulsedlaserdeposited(PLD)diamondlikecarbon(DLC)filmsareveryhardduetothehighenergyionicspeciesintheplumeproduc...
【作 者】
:
侯清润
高炬
杨晔
迟宁
【出 处】
:
Rare Metals
【发表日期】
:
1998年3期
【关键词】
:
DIAMOND
like
CARBON
FILMS
TEM
AFM
porous
silicon
PHOTOLUMINESCENCE
Diamondlike c
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1IntroductionPulsedlaserdeposited(PLD)diamondlikecarbon(DLC)filmsareveryhardduetothehighenergyionicspeciesintheplumeproduc...
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