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物理气相沉积TiN复合涂层研究进展
物理气相沉积TiN复合涂层研究进展
来源 :材料科学与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:laobi87
【摘 要】
:
物理气相沉积 (PVD) Ti N涂层已获广泛应用。为克服单一 Ti N涂层的缺陷及进一步改善 Ti N涂层的性能 ,近年来致力于复合涂层的研究。本文综述了 Ti N+ Ti、Ti N+化学镀 Ni-P
【作 者】
:
胡树兵
李志章
梅志
【机 构】
:
浙江大学材料工程系!杭州,310027 华中理工大学模具技术国家重点实验室,武汉,430074,浙江大学材料工程系!杭州,310027,华中理工大学模具技术国家重点实验室!武汉,430074
【出 处】
:
材料科学与工程
【发表日期】
:
2000年02期
【关键词】
:
TiN
复合涂层
过渡层
性能
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物理气相沉积 (PVD) Ti N涂层已获广泛应用。为克服单一 Ti N涂层的缺陷及进一步改善 Ti N涂层的性能 ,近年来致力于复合涂层的研究。本文综述了 Ti N+ Ti、Ti N+化学镀 Ni-P、Ti N+氮化等复合涂层的工艺、组织和性能之间的关系 ,并探讨了过渡层的作用。
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