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利用反应性质频磁控溅射在Ｓｉ（１００）单晶衬底上沉积氮化碳薄膜，并系统地了薄膜的结构，成分及化学键等信息。Ｘ射线衍射分析表明，制备的氮化碳薄膜具有非晶结构。红外吸收谱说明薄膜中碳，氮原子结构成化学键，其中包括碳，氮单键。
射频磁控溅射沉积氮化碳薄膜的结构和成键性质
【摘 要】
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利用反应性质频磁控溅射在Ｓｉ（１００）单晶衬底上沉积氮化碳薄膜，并系统地了薄膜的结构，成分及化学键等信息。Ｘ射线衍射分析表明，制备的氮化碳薄膜具有非晶结构。红外吸收谱说明薄膜中碳，氮原
【机 构】
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中国科学院物理研究所表面物理国家重点实验室
【出 处】
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金属学报
【发表日期】
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1999年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金,,中国科学院“九五”重大项目
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